電子ビーム蒸着

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電子ビーム蒸着

電子ビーム蒸着とは電子ビーム式加熱真空蒸着とも呼ばれ、電子顕微鏡の試料に使用される蒸着法の一つです。電子ビーム蒸着は電子ビームを物質に当てることでその蒸気を試料表面に吸着させます。
例えば炭素蒸着の場合は炭素棒の先端に電子ビームを照射して蒸気を発生させます。この蒸気は正電荷を持っているので、印加されている高電圧により、蒸気が蒸気流となって試料表面に厚膜として吸着します。


電子顕微鏡の構造

電子顕微鏡の構造は主に以下の様なものから構成されています。
電子銃、陽極室仕切弁、集束レンズ・コイル、ゴニオメーター、試料ホルダ、対物レンズ・コイル、制限視野絞り装置、双眼顕微鏡、観察窓、観察室、カメラ室、加速管、収束視にレンズ・コイル(CMレンズ)、対物絞り装置、対物視にレンズ(OMレンズ)コイル、中間レンズ・コイル、投影レンズ・コイル、観察室仕切り弁など。


電子顕微鏡装置の中は高真空で保たれていて、試料を入れた後電子ビームを電子銃から照射して観察を行います。



電子顕微鏡の歴史

電子顕微鏡はエルリンスト・ルスカというベルリン工科大学の卒業論文から始まったといわれています。そして最初の電子顕微鏡の完成が1931年であり、その電子顕微鏡の倍率は17倍でした。
その後1933年に倍率が1万2千倍という電子顕微鏡が開発されました。


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