イオンミリング法

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イオンミリング法

イオンミリング法は、電子顕微鏡の試料作成方法の1つで、試料表面に加速したイオンを当て、試料原子を表面からはじき出しすことで薄膜試料を作成します。
イオンミリング法は半導体、セラミックス、金属などを電子顕微鏡に使用するときに利用される試料作成法です。表面が少し損傷して装置条件によって左右されやすいですが、表面が比較的きれいにできて広い視野での薄い試料を作ることができます。


電子顕微鏡の構造

電子顕微鏡の構造は主に以下の様なものから構成されています。
電子銃、陽極室仕切弁、集束レンズ・コイル、ゴニオメーター、試料ホルダ、対物レンズ・コイル、制限視野絞り装置、双眼顕微鏡、観察窓、観察室、カメラ室、加速管、収束視にレンズ・コイル(CMレンズ)、対物絞り装置、対物視にレンズ(OMレンズ)コイル、中間レンズ・コイル、投影レンズ・コイル、観察室仕切り弁など。


電子顕微鏡装置の中は高真空で保たれていて、試料を入れた後電子ビームを電子銃から照射して観察を行います。



電子顕微鏡の歴史

電子顕微鏡はエルリンスト・ルスカというベルリン工科大学の卒業論文から始まったといわれています。そして最初の電子顕微鏡の完成が1931年であり、その電子顕微鏡の倍率は17倍でした。
その後1933年に倍率が1万2千倍という電子顕微鏡が開発されました。


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