電子顕微鏡に適した試料

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電子顕微鏡に適した試料

電子顕微鏡に適した試料には以下のような条件があります。

【電子顕微鏡の適した試料その1】
薄い試料であること。電子は非常に軽い上に負の電荷を持っているので、試料を薄くする必要があります。この厚みは10nm以下は必要であるといわれています。
【電子顕微鏡の適した試料その2】
電子ビームによる照射でも試料が安定していること。
【電子顕微鏡の適した試料その3】
真空中でも安定している試料であること。
【電子顕微鏡の適した試料その4】
導電性を持つ試料であること


電子顕微鏡の構造

電子顕微鏡の構造は主に以下の様なものから構成されています。
電子銃、陽極室仕切弁、集束レンズ・コイル、ゴニオメーター、試料ホルダ、対物レンズ・コイル、制限視野絞り装置、双眼顕微鏡、観察窓、観察室、カメラ室、加速管、収束視にレンズ・コイル(CMレンズ)、対物絞り装置、対物視にレンズ(OMレンズ)コイル、中間レンズ・コイル、投影レンズ・コイル、観察室仕切り弁など。


電子顕微鏡装置の中は高真空で保たれていて、試料を入れた後電子ビームを電子銃から照射して観察を行います。



電子顕微鏡の歴史

電子顕微鏡はエルリンスト・ルスカというベルリン工科大学の卒業論文から始まったといわれています。そして最初の電子顕微鏡の完成が1931年であり、その電子顕微鏡の倍率は17倍でした。
その後1933年に倍率が1万2千倍という電子顕微鏡が開発されました。


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