金属蒸着

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金属蒸着

金属蒸着は物質の表面に薄膜を作る方法で、物質を加熱してその蒸気を下地の表面に吸着させる方法です。
この金属蒸着は電子顕微鏡の試料等に利用されています。例えば、電子顕微鏡での電子ビームの照射による試料の帯電防止や試料の陰影を作るために、金属蒸着などが利用されます。金属蒸着ではAu、Pd、Ptなどを使用します。
AuやAu-Pdの場合は融点が低いため、タングステン線に必要量の金属を巻きつけて、真空中で融解させて蒸着させます。一方で融点の高いPtやPt-Pdはカーボン棒に金属線を巻きつけて、カーボンの接触部の熱によって溶解させ、蒸着させます。


電子顕微鏡の構造

電子顕微鏡の構造は主に以下の様なものから構成されています。
電子銃、陽極室仕切弁、集束レンズ・コイル、ゴニオメーター、試料ホルダ、対物レンズ・コイル、制限視野絞り装置、双眼顕微鏡、観察窓、観察室、カメラ室、加速管、収束視にレンズ・コイル(CMレンズ)、対物絞り装置、対物視にレンズ(OMレンズ)コイル、中間レンズ・コイル、投影レンズ・コイル、観察室仕切り弁など。


電子顕微鏡装置の中は高真空で保たれていて、試料を入れた後電子ビームを電子銃から照射して観察を行います。



電子顕微鏡の歴史

電子顕微鏡はエルリンスト・ルスカというベルリン工科大学の卒業論文から始まったといわれています。そして最初の電子顕微鏡の完成が1931年であり、その電子顕微鏡の倍率は17倍でした。
その後1933年に倍率が1万2千倍という電子顕微鏡が開発されました。


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