X線マイクロアナライザー

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X線マイクロアナライザー

X線マイクロアナライザーは走査型電子顕微鏡や投下型電子顕微鏡に組み込まれていることが多い分析装置です。X線マイクロアナライザーでは電子線を試料に照射して、試料の表面付近の元素の分布を分析します。
電子顕微鏡のX線マイクロアナライザーを使った分析法には、必要な波長を分光して分析する点分析、特定の元素を検出するために一定の線に沿って分析していく線分析、表面を走査させていく走査法などがあります。


電子顕微鏡の構造

電子顕微鏡の構造は主に以下の様なものから構成されています。
電子銃、陽極室仕切弁、集束レンズ・コイル、ゴニオメーター、試料ホルダ、対物レンズ・コイル、制限視野絞り装置、双眼顕微鏡、観察窓、観察室、カメラ室、加速管、収束視にレンズ・コイル(CMレンズ)、対物絞り装置、対物視にレンズ(OMレンズ)コイル、中間レンズ・コイル、投影レンズ・コイル、観察室仕切り弁など。


電子顕微鏡装置の中は高真空で保たれていて、試料を入れた後電子ビームを電子銃から照射して観察を行います。



電子顕微鏡の歴史

電子顕微鏡はエルリンスト・ルスカというベルリン工科大学の卒業論文から始まったといわれています。そして最初の電子顕微鏡の完成が1931年であり、その電子顕微鏡の倍率は17倍でした。
その後1933年に倍率が1万2千倍という電子顕微鏡が開発されました。


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