電子レンズ

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電子レンズ

電子レンズは電子顕微鏡に使用されるレンズで、電子ビームを電界や磁界の作用で収束、結像させます。光学顕微鏡の場合は光学レンズと呼びますが、電子顕微鏡の場合は電子レンズと呼ばれます。
電界を利用した電子レンズを静電型電子レンズ、磁界を利用した電子レンズを磁界型電子レンズと呼びます。

磁界型レンズは電磁レンズとも呼ばれ円筒型のコイルの周辺を鉄で囲んで、その中空に磁界を発生させます。
静電型レンズの方は電極を組み合わせ、正電場の電子ビームに対する収束作用を利用します。しかし収差が大きいなどの問題点もあるため、現在の電子顕微鏡では通常は使用されていません。


電子顕微鏡の構造

電子顕微鏡の構造は主に以下の様なものから構成されています。
電子銃、陽極室仕切弁、集束レンズ・コイル、ゴニオメーター、試料ホルダ、対物レンズ・コイル、制限視野絞り装置、双眼顕微鏡、観察窓、観察室、カメラ室、加速管、収束視にレンズ・コイル(CMレンズ)、対物絞り装置、対物視にレンズ(OMレンズ)コイル、中間レンズ・コイル、投影レンズ・コイル、観察室仕切り弁など。


電子顕微鏡装置の中は高真空で保たれていて、試料を入れた後電子ビームを電子銃から照射して観察を行います。



電子顕微鏡の歴史

電子顕微鏡はエルリンスト・ルスカというベルリン工科大学の卒業論文から始まったといわれています。そして最初の電子顕微鏡の完成が1931年であり、その電子顕微鏡の倍率は17倍でした。
その後1933年に倍率が1万2千倍という電子顕微鏡が開発されました。


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