電離真空計

電子顕微鏡を学ぼう -原理など-トップ > 装置の解説電離真空計

電離真空計

電離真空計は容器内の気体の真空度を調べる真空計の1つで、電子管の中で生じる電子を加速させて気体分子や原子に衝突させます。このときに生じるイオン電流から、気体密度や気圧を計測します。
電離真空計では、熱陰極電離真空計と冷陰極電離真空計があります。真空度の測定範囲は1〜10-6Paで、イオンコレクターを持つものでは10-9Paまで、磁界をかける電離真空計では10-12Paと言われています。


電子顕微鏡の構造

電子顕微鏡の構造は主に以下の様なものから構成されています。
電子銃、陽極室仕切弁、集束レンズ・コイル、ゴニオメーター、試料ホルダ、対物レンズ・コイル、制限視野絞り装置、双眼顕微鏡、観察窓、観察室、カメラ室、加速管、収束視にレンズ・コイル(CMレンズ)、対物絞り装置、対物視にレンズ(OMレンズ)コイル、中間レンズ・コイル、投影レンズ・コイル、観察室仕切り弁など。


電子顕微鏡装置の中は高真空で保たれていて、試料を入れた後電子ビームを電子銃から照射して観察を行います。



電子顕微鏡の歴史

電子顕微鏡はエルリンスト・ルスカというベルリン工科大学の卒業論文から始まったといわれています。そして最初の電子顕微鏡の完成が1931年であり、その電子顕微鏡の倍率は17倍でした。
その後1933年に倍率が1万2千倍という電子顕微鏡が開発されました。


「電離真空計」は"装置の解説"のカテゴリに属しています。この"装置の解説"のカテゴリには「電離真空計」の他に以下の記事がありますので、是非ご参考下さい

カテゴリ

当サイトについて

Copyright(c) 電子顕微鏡を学ぼう -原理など- All rights reserved .