ピラニ真空計

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ピラニ真空計

ピラニ真空計は容器内の気体の真空度を調べる真空計の1つで、低圧状態での高温物体の熱損失が、圧力に依存することを利用した真空計です。
高温物体には白金やタングステンなどのフィラメントを使用します。このフィラメントに電流を流して加熱したときの温度と消費電力から、圧力を間接的に計測します。
電子顕微鏡では拡散ポンプを始動する程度まで鏡筒内の圧力が減圧されているか確認するときに使用されます。


電子顕微鏡の構造

電子顕微鏡の構造は主に以下の様なものから構成されています。
電子銃、陽極室仕切弁、集束レンズ・コイル、ゴニオメーター、試料ホルダ、対物レンズ・コイル、制限視野絞り装置、双眼顕微鏡、観察窓、観察室、カメラ室、加速管、収束視にレンズ・コイル(CMレンズ)、対物絞り装置、対物視にレンズ(OMレンズ)コイル、中間レンズ・コイル、投影レンズ・コイル、観察室仕切り弁など。


電子顕微鏡装置の中は高真空で保たれていて、試料を入れた後電子ビームを電子銃から照射して観察を行います。



電子顕微鏡の歴史

電子顕微鏡はエルリンスト・ルスカというベルリン工科大学の卒業論文から始まったといわれています。そして最初の電子顕微鏡の完成が1931年であり、その電子顕微鏡の倍率は17倍でした。
その後1933年に倍率が1万2千倍という電子顕微鏡が開発されました。


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