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走査型電子顕微鏡はSEM（Scanning Electron Microscope)とも呼ばれ、試料の表面構造を観察する時に用いられる電子顕微鏡です。
走査型電子顕微鏡の特徴は、試料を薄片化する必要がなく、電子銃から電子ビームを試料表面上で走査させることで、発生した二次電子を検出します。
走査型電子顕微鏡によって二次電子が発生する原理は、電子の照射によって試料原子が励起された結果発生します。この二次電子を画像化します。
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電子顕微鏡の構造は主に以下の様なものから構成されています。
電子銃、陽極室仕切弁、集束レンズ・コイル、ゴニオメーター、試料ホルダ、対物レンズ・コイル、制限視野絞り装置、双眼顕微鏡、観察窓、観察室、カメラ室、加速管、収束視にレンズ・コイル（CMレンズ）、対物絞り装置、対物視にレンズ（OMレンズ）コイル、中間レンズ・コイル、投影レンズ・コイル、観察室仕切り弁など。
電子顕微鏡装置の中は高真空で保たれていて、試料を入れた後電子ビームを電子銃から照射して観察を行います。
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電子顕微鏡はエルリンスト・ルスカというベルリン工科大学の卒業論文から始まったといわれています。そして最初の電子顕微鏡の完成が1931年であり、その電子顕微鏡の倍率は１７倍でした。
その後1933年に倍率が1万2千倍という電子顕微鏡が開発されました。
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