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超高圧電子顕微鏡では、加速電圧を高めることで厚い試料を観察することが可能な電子顕微鏡です。透過型電子顕微鏡に用いる試料の厚さは通常は0.1μm以下が必要ですが、超高圧電子顕微鏡では0.5μm〜2μm程度の厚さでも可能です。
超高圧電子顕微鏡では構造の立体視も可能であり、試料を２方向の傾斜角度で撮影して、２枚の写真をステレオビュアーで行います。
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電子顕微鏡の構造は主に以下の様なものから構成されています。
電子銃、陽極室仕切弁、集束レンズ・コイル、ゴニオメーター、試料ホルダ、対物レンズ・コイル、制限視野絞り装置、双眼顕微鏡、観察窓、観察室、カメラ室、加速管、収束視にレンズ・コイル（CMレンズ）、対物絞り装置、対物視にレンズ（OMレンズ）コイル、中間レンズ・コイル、投影レンズ・コイル、観察室仕切り弁など。
電子顕微鏡装置の中は高真空で保たれていて、試料を入れた後電子ビームを電子銃から照射して観察を行います。
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電子顕微鏡はエルリンスト・ルスカというベルリン工科大学の卒業論文から始まったといわれています。そして最初の電子顕微鏡の完成が1931年であり、その電子顕微鏡の倍率は１７倍でした。
その後1933年に倍率が1万2千倍という電子顕微鏡が開発されました。
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