始動時に行われること

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始動時に行われること

電子顕微鏡を始動してからの数十分は鏡筒の内部から空気を追い出す作業が行われ、数十分後は高真空状態になります。これは電子顕微鏡は真空の鏡筒の中で電子線を走らせる必要があるからです。

電子顕微鏡での空気を追い出す装置はポンプでまかなわれ、最初は排気音強く、しだいに排気音が弱くなっていきます。そして数十分後には「使用可能」のランプが点灯します。
但し、ランプが点灯してすぐに電子線を走らせるより、真空状態のチェックができるならばチェック(10-4Paに達したか)を行ってから電子線を走らせるのが大切です。


電子顕微鏡の構造

電子顕微鏡の構造は主に以下の様なものから構成されています。
電子銃、陽極室仕切弁、集束レンズ・コイル、ゴニオメーター、試料ホルダ、対物レンズ・コイル、制限視野絞り装置、双眼顕微鏡、観察窓、観察室、カメラ室、加速管、収束視にレンズ・コイル(CMレンズ)、対物絞り装置、対物視にレンズ(OMレンズ)コイル、中間レンズ・コイル、投影レンズ・コイル、観察室仕切り弁など。


電子顕微鏡装置の中は高真空で保たれていて、試料を入れた後電子ビームを電子銃から照射して観察を行います。



電子顕微鏡の歴史

電子顕微鏡はエルリンスト・ルスカというベルリン工科大学の卒業論文から始まったといわれています。そして最初の電子顕微鏡の完成が1931年であり、その電子顕微鏡の倍率は17倍でした。
その後1933年に倍率が1万2千倍という電子顕微鏡が開発されました。


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