よりよく観察するために

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よりよく観察するために

試料をよりよく観察するためのポイントの1つとしては、できる限り鏡筒内を真空状態にすることが大切です。電子の進みは気体分子に邪魔されますので、真空度が低いと気体分子によって電子の進む方向が散乱してしまいます。
例えば観察試料の固体表面では気体分子の衝突を受け、その固体が着たいの温度より低いときには固体表面に触れた気体分子の動きが鈍くなって、固体表面に気体分子が付着・堆積しやすくなります。このような状態に電子が衝突すると熱融解によって汚染膜を形成し、試料表面を覆う可能性があります。
汚染膜が試料を覆うともちろん試料の観察の精度が低下しますので、真空度はできる限り上げておくことが正確な観察につながるのです。


電子顕微鏡の構造

電子顕微鏡の構造は主に以下の様なものから構成されています。
電子銃、陽極室仕切弁、集束レンズ・コイル、ゴニオメーター、試料ホルダ、対物レンズ・コイル、制限視野絞り装置、双眼顕微鏡、観察窓、観察室、カメラ室、加速管、収束視にレンズ・コイル(CMレンズ)、対物絞り装置、対物視にレンズ(OMレンズ)コイル、中間レンズ・コイル、投影レンズ・コイル、観察室仕切り弁など。


電子顕微鏡装置の中は高真空で保たれていて、試料を入れた後電子ビームを電子銃から照射して観察を行います。



電子顕微鏡の歴史

電子顕微鏡はエルリンスト・ルスカというベルリン工科大学の卒業論文から始まったといわれています。そして最初の電子顕微鏡の完成が1931年であり、その電子顕微鏡の倍率は17倍でした。
その後1933年に倍率が1万2千倍という電子顕微鏡が開発されました。


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